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- 2023-07-12 发布于四川
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本发明公开了一种用于折射率传感的金银复合纳米颗粒薄膜及其制备方法，方法包括：S1、基底清洗：将透明基底清洗，烘干，待用；S2、沉积银纳米薄膜：通过磁控溅射，在透明基底上制备一层厚度均匀的银纳米薄膜；S3、制备银纳米颗粒：对制备的银纳米薄膜进行退火处理，使之形成银纳米颗粒；S4、金纳米薄膜的制备：通过磁控溅射，在银纳米颗粒上覆盖一层金纳米薄膜，完成金银复合纳米颗粒薄膜的制备。本发明制备的金银复合纳米颗粒薄膜包括透明基底和设置于基底上的银纳米颗粒以及覆盖于银纳米颗粒上的金纳米薄膜。本发明的制备方法简
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115181949 A
(43)申请公布日 2022.10.14
(21)申请号 202210801528.3 B82Y 40/00 (2011.01)
(22)申请日 2022.07.
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