原创力文档- 7
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- 2023-07-13 发布于四川
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本实用新型公开了真空镀膜检测仪器领域中的一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与方阻仪电连接的检测探头，检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。本实用新型解决了传统方式只能在薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214174506 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202120057354.5
(22)申请日 2021.01.08
(73)专利权人 重庆金美新材料科技有限公司
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