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一种硅片清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种硅片清洗装置.pdf

    本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括龙门架、清洗部、硅片篮和运动部；龙门架横跨于清洗部的上方；所述运动部包括位于龙门架竖杆上的电动推杆A，电动推杆A水平伸缩；所述龙门架的横杆设有两个，两个横杆之间有空隙；在两个横杆的上面设有Π形搁置板，搁置板横跨两个横杆，并沿横杆的长度移动；所述运动部还包括电动推杆B，电动推杆B竖向伸缩；电动推杆B位于搁置板的上面，电动推杆B的伸缩杆位于两个横杆的空隙之间；所述硅片篮与电动推杆B的下端连接；所述硅片篮的底部设有汇液部，汇液部由弧形板组成。该清洗装置具有设置合理

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214184332 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022714871.3 B08B 5/02 (2006.01)

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