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一种磷化铟多晶合成装置.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种磷化铟多晶合成装置.pdf

    本实用新型属于半导体制备技术领域，公开了一种磷化铟多晶合成装置，包括石英炉膛管，石英炉膛管两端设有高温加热器和低温加热器，石英炉膛管设有加热器隔温棉且位于高温加热器和低温加热器之间，石英炉膛管中放置有石英安瓿瓶，石英安瓿瓶的两端均设有大瓶颈区，中部设有小瓶颈区，两个大瓶颈区分别设有放置高纯红磷的红磷区和放置高纯铟的高纯铟区，石英安瓿瓶的高纯铟区远离小瓶颈区的一端为开口端且设有石英帽，石英安瓿瓶的小瓶颈区和石英炉膛管之间设有石英安瓿瓶隔温棉。本实用新型能够解决因高温区与中温区之间没有适当的保温措施

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193522 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022517522.2 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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