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本发明提出了一种电子级三氟化氯的充装装置及充装方法，涉及化工领域。一种电子级三氟化氯的充装装置包括：包括冷却罐以及收集罐，冷却罐内设有用于降低冷却罐内温度的降温组件、用于将液化后三氟化氯与杂质气体分离的分离组件以及连通冷却罐以及收集罐的连接管,冷却罐连通有进气管以及出气管，收集罐内设有保温组件，进气管与出气管间隔设于冷却罐。采用本发明能够更方便的将先降温液化后的三氟化氯收集到收集装置内，并且收集装置能对三氟化氯起到更好的保温作用，避免发生三氟化氯气化从而增大对收纳装置的压力，增加收纳装置的使用寿
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116428511 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310357826.2
(22)申请日 2023.04.03
(71)申请人 鹤壁德瑞科技有限公司
地址 45
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