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本发明公开了环境PLD生长及电化学性能测试系统、方法及用途。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、靶材屏蔽盒、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备，其中通过电机驱动样品托在竖直方向上顺时针或逆时针旋转，靶材屏蔽盒可周期性移动，其顶壁设有偏心通孔且内部内设有多个沿靶材屏蔽盒周向布置的子屏蔽区，多个子屏蔽区互不连通且可相对于靶材屏蔽盒的顶壁旋转。采用该系统能够在超清洁的环境下获得电极材料的电化学性能，消除样品测试前转移样品过程中气相杂质的污染，同
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115201307 A
(43)申请公布日 2022.10.18
(21)申请号 202210651353.2
(22)申请日 2022.06.09
(71)申请人 清华大学
地址 100084 北京
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