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电子探针仪（EPMA）是一种微区成分分析仪器。
采用被聚焦成小于1um的高速电子束轰击样品表面，利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线，测量其λ和Ι，确定微区的定性、定量的化学成分。
SEM-EPMA组合型仪器，具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。;3.1 工作原理;3.2 构造;扫描式电子探针;（1）波长分散谱仪 WDS Wavelength Dispersive Spectrometer;工作原理;光源、发射的x射线会聚焦在x射线
探测器的接受狭缝处；通过弯晶面
聚焦圆转动来改变衍射角的大小，探
测器也随着在聚焦圆上运动，。;波长色散谱;WDS 特点：;（2）能量色散谱仪 EDS Energy Dispersive Spectrometer;工作原理;探测系统;;NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱;EDS 特点：;WDS 与EDS比较;;比较项目;分析方法;基本工作方式：;微区成分分析;;（2）线扫描分析;A;（3）面扫描分析;面扫描分析;高等数学Ⅱ教学大纲及学时分配; ;高等数学Ⅱ电子探针仪（EPMA）是一种微区成分分析仪器。
采用被聚焦成小于1um的高速电子束轰击样品表面，利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线，测量其λ和Ι，确定微区的定性、定量的化学成分。
SEM-EPMA组合型仪器，具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。;3.1 工作原理;3.2 构造;扫描式电子探针;（1）波长分散谱仪 WDS Wavelength Dispersive Spectrometer;工作原理;光源、发射的x射线会聚焦在x射线
探测器的接受狭缝处；通过弯晶面
聚焦圆转动来改变衍射角的大小，探
测器也随着在聚焦圆上运动，。;波长色散谱;WDS 特点：;（2）能量色散谱仪 EDS Energy Dispersive Spectrometer;工作原理;探测系统;;NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱;EDS 特点：;WDS 与EDS比较;;比较项目;分析方法;基本工作方式：;微区成分分析;;（2）线扫描分析;A;（3）面扫描分析;面扫描分析;高等数学Ⅱ教学大纲及学时分配; ;高等数学Ⅱ
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