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- 2023-07-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度，进而提升高超声
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214218166 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202120029372.2
(22)申请日 2021.01.07
(73)专利权人 中国空气动力研究与发展中心超
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