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- 2023-07-21 发布于山东
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PVD/PACVD在汽车工业的应用; 硬质膜耐磨涂层的材料体系;硬质膜耐磨涂层的材料体系;第二代硬质膜耐磨涂层材料:
Ti-N系化合物硬质膜
a 单组元氮化物:TiN,CrN,ZrN,TaN, HfN
b 单组元碳化物:TiC
c 双组元化合物:(Ti,Al)N
D 复合化合物:Ti(C,N)
产业化时间在90年代初期 ;?? 第三代硬质膜耐磨涂层材料;? 第四代硬质膜耐磨涂层材料; 各种涂层的性能
;最新涂层的性能;PVD/PACVD涂层的应用;PVD主要有三种方法; 平衡磁控溅控(balanced magnetron? sputtering ) ;由辅助离子源增强的平衡磁控溅射(balanced magnetron sputtering enhanced by auxiliary plasma source); HEF公司PEMSTM
(离子增强磁控溅射)
;?
TEER公司四靶闭合非平衡磁控溅射装置示意图 ; 离子镀;PVD涂层系统图;用于MeDLC的阴极配置图;荷兰HAUZER设备型号;涂层设备的夹具;HAUZERPVD设备特点;涂层在汽车另件的应用;PVD在发动机另件上的应用;在发动机上磨擦损耗的分布;活塞环及活塞销;直喷喷油系统的应用;燃油喷嘴系统;
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