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电子回旋共振微波等离子体用三端环形器.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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电子回旋共振微波等离子体用三端环形器.pdf

    本实用新型涉及电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，包括环形器本体与斜插水管，所述环形器本体是中空的，所述环形器本体两端设置有第一法兰盘与第二法兰盘，所述斜插水管与所述环形器本体中部连接，所述斜插水管插接在所述环形器本体内的一端是由介质片拼接组成的楔形结构，所述楔形结构的尖端朝向所述第一法兰盘一侧，所述楔形结构的底平端朝向所述第二法兰盘一侧，所述楔形结构与所述环形器本体侧壁之间的夹角为10°。本实用新型将斜插水管插入环形器本体一端设置为楔形结构，楔形结构的斜面正对着与微波谐振腔连接的第一法兰盘，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214280170 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120106979.6 (22)申请日 2021.01.15 (73)专利权人 成都华宇微波技术有限公司

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