敞开式离子源.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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本发明提供了一种敞开式离子源,所述敞开式离子源包括:外壳的两端开口;后盖固定在外壳的第一开口端,并具有适于气体管道穿过的通孔;气体管道设置在外壳内,一端穿过所述后盖,另一端连通放电模块的内部;放电模块设置在外壳内,放电模块呈筒形,自外向内设置壳体、电极和放电介质;第一导线的一端连接电极,另一端出头于所述外壳外;气体管道、放电模块和准直模块依次设置在外壳内,放电模块和准直模块之间的距离大于零;准直模块呈筒形,自外向内依次设置保护壳和金属管;第二导线的一端连接金属管,另一端出头于外壳外;从准直模块到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108133878 A (43)申请公布日 2018.06.08 (21)申请号 20171

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