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一种体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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一种体声波谐振器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及MEMS器件制造领域，该制备方法包括：提供基底；在基底表面生长非晶硅，在非晶硅表面形成反射栅；在反射栅上形成下电极，对下电极进行平坦化处理，平坦化结束在下电极的信号输出区域制作阻挡层；在形成有阻挡层的下电极上形成压电层；在所述压电层上形成上电极，完成谐振器。本发明通过剥离工艺及CMP工艺对下电极进行平坦化，很好的保证了压电层的成膜质量，进而减小谐振器的插入损耗，提高谐振器的品质因数Q。同时本发明通过对下电极的信号输出区域进行阻挡工艺，解决了压电层在湿

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113472311 A (43)申请公布日 2021.10.01 (21)申请号 202110779441.6 (22)申请日 2021.07.09 (71)申请人 无锡市好达电子股份有限公司

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