一种用于扫描电镜下的原位扭转测试装置.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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一种用于扫描电镜下的原位扭转测试装置.pdf

本实用新型公开了一种用于扫描电镜下的原位扭转测试装置,包括:底板;驱动机构,其设置在所述底板上;传动机构,其连接所述驱动机构的输出端;转动夹持机构,其可旋转支撑设置在所述底板上,所述夹持机构的一端连接所述传动机构;试样,其一端同轴连接所述夹持机构的另一端;固定夹持机构,其固定设置在所述底板上,并连接所述试样的另一端。通过驱动机构与转动夹持机构和固定夹持机构配合,对试样进行扭转,能够实现扫描电镜下的原位扭转实测试,同时,本装置结构紧凑,体积小,并配有有效的电磁隔离和保护装置,能够为扫描电镜下的原位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214277658 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120117425.6 G01N 3/22 (2006.01) (22)申请日 20

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