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电子教案 传 感 技 术 哈尔滨理工大学测控技术及仪器专业 目 录 绪 论 4 传感器的作用 4 传感器的定义与组成 4 传感器的分类及对它的一般要求 6 第一章 传感器的静特性 9 1-1 线性度 9 1-2 迟滞 12 重复性 12 灵敏度与灵敏度误差 13 分辨力与阈值 13 稳定性 13 温度稳定性 13 抗干扰稳定性 13 静态误差 14 第二章 电阻式传感器 15 应变式传感器 15 应变式传感器的工作原理 15 金属应变片的主要特性 17 转换电路 20 温度误差及其补偿 22 应变式传感器应用举例 25 固态压阻式传感器 26 工作原理 26 压阻式传感器的特点 27 固态压阻式传感器的应用 27 第三章 电感式传感器 28 可变磁阻式电感传感器 28 差动变压器式电感传感器 31 第四章 电容式传感器 32 电容式传感器的工作原理 32 极距变化型电容式传感器的变换原理 33 面积变化型电容式传感器的变换原理 33 介质变化型电容式传感器的变换原理 35 电容式传感器的测量电路 36 第五章 压电式传感器 38 压电效应 38 压电式传感器及其等效电路 39 测量电路 40 第六章 光电式传感器 42 光电式传感器 42 光纤传感器 45 CCD 图像传感器 47 第七章 磁电式传感器 50 磁电感应式传感器 50 霍尔式传感器 52 第八章 热电式传感器 55 热电偶传感器 55 热敏电阻传感器 58 第九章 半导体式传感器 55 气敏传感器 60 湿敏传感器 60 磁敏偶传感器 55 第十章 谐振式传感器 55 振弦式传感器 60 振筒振膜传感器 60 压电式谐振传感器 55 第十一章 传感器的标定 55 传感器的静态标定 60 传感器的动态标定 60 绪 绪 论 0-1 传感器的作用 人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。而单靠人们自身的感觉器官，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种请况，就需要传感器。因此可以说，传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。 新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要结决的就是获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程 中的各个参数，使设备工作在正常状态或是最佳状态，并使产品达到最好的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代生产也就失去了基础。 在基础科学研究中，传感器更具突出的地位。现代科学技术的发展，进入了许多新领域：例如在宏观上要观察上千年的茫茫宇宙，微观上要观察小到10 ? 13 cm 的粒子世界， 纵向上要观察长达数十万年的天体演化，短到10 ? 24 s 的瞬间反应。此外，还出现了对深化物质认识、开拓新能源新材料等具有重要作用的各种极端技术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等等。显然，要获取大量人类感官无法获取的 信息，没有想适应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就在于对象信 息的获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测仪器的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。 传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等及其广泛的领域。可以毫不夸张地说，从茫茫太空到浩瀚的海洋，以至各种复杂的工程系统，几乎每一个现代化项目，都离不开各种各样的传感器。 0-2 传感器的定义与组成由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显的。 0-2 传感器的定义与组成 我国国家标准（GB7765-87）中说，传感器（Transducer/Sensor）的定义是：“能够感 受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置”。我们的定义是：传感器是一种以一定的精确度把被测量转换为与之有确定对应关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。 这一包含了以下几方面的意思：①传感器是测量装置，能完成检测任务；②它的输 入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等。③它的输出量是某中 物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等等，这种量可以是气、光、电物理量， 但主要是电物理量；④输出输入有对应关系，且应有一定的精度程度。 被测量敏感元件 被测量 敏感元件 转换元件 基本转 换电路 电量 图 0-1 传感器组成框图 传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路三部分组成，组成框图见图 0-1。敏感元件：它是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。 图 0-2 是一种气体压力传感器的示意图。膜盒 2 的下半部分与壳体 1 固接