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基于纳米微腔的可见光分束滤波薄膜及其设计方法.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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基于纳米微腔的可见光分束滤波薄膜及其设计方法.pdf

    本发明公开一种基于纳米微腔的可见光分束滤波薄膜及其设计方法，可见光分束滤波薄膜由电介质‑金属‑电介质‑银薄膜堆叠构成；可见光分束滤波薄膜为亚波长尺度；电介质层材料和上层金属材料可根据需求替换，电介质‑金属‑电介质‑银薄膜结构中的中间层电介质的厚度可以调控滤波的中心波长。本发明在亚波长尺度下，将光分束器与光滤波器的功能集成为一个基于纳米微腔的薄膜结构，可以实现透射和反射相同颜色的光波，同时薄膜的结构优势，使得其易于加工，并且可以镀膜在其他光学器件上，实现功能的多重集成，因此可广泛用于光学器件、数码

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113568099 A (43)申请公布日 2021.10.29 (21)申请号 202110773560.0 (22)申请日 2021.07.08 (71)申请人 武汉大学 地址 43

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