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MEMS麦克风及其微机电结构.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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MEMS麦克风及其微机电结构.pdf

    本申请公开了一种MEMS麦克风及其微机电结构，该微机电结构包括第一背极板；第二背极板，位于第一背极板上；振动膜，位于第一背极板与第二背极板之间，振动膜与第一背极板构成第一可变电容，并与第二背极板构成第二可变电容；第一支撑部，位于第一背极板与振动膜之间，并分别与第一背极板和振动膜固定连接；第二支撑部，位于第二背极板与振动膜之间，并分别与第二背极板和振动膜固定连接，其中，第一支撑部沿振动膜的边缘向振动膜的中心方向凸出于第二支撑部。该微机电结构通过使得第一支撑部沿振动膜的边缘向中心方向凸出于第二支撑部

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214281654 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120396938.5 (22)申请日 2021.02.23 (73)专利权人 苏州敏芯微电子技术股份有限公

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