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真空系统元件及连接
真空系统元件及连接n 真空系统是由真空泵、阀门、捕集器、导管等各种元件通过不同的连接形式组成的，就是真空室也是由多个部件，多种不同材料的组件组建而成的。
一、真空阀门n 一、真空阀门n 1．概述在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。n 真空阀门在真空系统中的作用：n （1）开关气路n （2）控制气流大小，调节真空度n （3）定量充气
n 1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机
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