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本发明公开了一种芯片全自动检测设备,包括芯片上料机构,用于吸取芯片并将芯片依次搬运至测高工位和定位治具上的第一吸料搬运机构,测高机构,用于定位放置芯片的定位治具,用于带动定位治具移动使定位治具依次移动至测长宽工位和第二吸料搬运机构的上料工位的定位治具移动驱动机构,测长宽机构,用于吸取芯片并将芯片搬运至不良品料盘或良品下料机构上的第二吸料搬运机构,用于放置不良品料盘并带动不良品料盘移动的不良品料盘移动驱动机构,以及良品下料机构。本发明可实现芯片的自动化上料,自动化高度、长度和宽度测量以及自动化良品
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114985294 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210610393.2 H01L 21/683 (2006.01)
(22)申请日 2022.05
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