平面陶瓷压力传感器及相关制造方法.pdfVIP

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2023-07-22 发布于四川
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本发明公开了一种压阻式或电容式平面压力传感器(130)，该压阻式或电容式平面压力传感器包括由陶瓷材料制成的柔性平面膜(100)和由陶瓷材料制成的相对刚性平面支撑件(110)，其中支撑件(110)具有第一主面(220)和第二主面(230)，并且膜(100)具有第一主面(200)和第二主面(210)，并且其中膜(100)的第一主面(200)面向支撑件(110)的第二主面(230)，膜(100)的第一主面(200)包括至少一个第一电路(501)，支撑件(110)的第一主面(220)包括至少一个第二电路

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116472443 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202180072363.4 (74)专利代理机构北京市浩天知识产权代理事