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一种乙硅烷提纯剂及其制备方法和应用.pdfVIP

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  • 2023-07-22 发布于四川
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一种乙硅烷提纯剂及其制备方法和应用.pdf

    本发明提供一种乙硅烷提纯剂及其制备方法和应用，基于本发明提供的乙硅烷提纯剂，能高效吸附乙硅烷中低浓度的氨气和硫化氢气体，具有吸附杂质能力强、提纯效果好等特点。所述乙硅烷提纯剂包括载体和负载在所述载体上的过渡金属氧化物和碱土金属氯化物，所述载体选自活性炭和/或活性氧化铝，所述过渡金属氧化物中的过渡金属元素选自锰、铁、钴、铜、锌中的一种或多种，所述碱土金属氯化物中的碱土金属元素选自镁、钙、钡、锶中的一种或多种。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116459788 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202210026687.0 B01D 53/02 (2006.01)

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