溅射镀膜类型课件.pptVIP

? 溅射镀膜的方式很多，从电极结构上可分为二极溅射、三或四极溅射和磁控溅射。? 直流溅射系统一般只能用于靶材为良导体的溅射；? 射频溅射适用于绝缘体、导体、半导体等任何一类靶材的溅射；? 反应溅射可制备化合物薄膜；? 为了提高薄膜纯度而分别研究出偏压溅射、非对称交流溅射和吸气溅射等；? 对向靶溅射可以进行磁性薄膜的高速低温制备。 各种溅射镀膜类型的比较 一．二极溅射? 阴极靶由镀膜材料制成,成膜的基板及其固定架作为阳极，构成了溅射装置的两个极 。? 使用直流电源则称为直流二极溅射，因为溅射过程发生在阴极，故又称为阴极溅射。? 使用射频电源时称为射频二极溅射。? 靶和基板固定架都是平板状的称为