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本实用新型提出了一种双面电镀装置,电镀装置具有电镀腔,待电镀对象适于平行于水平方向放置于电镀腔内,电镀装置具有连接待电镀对象的两个待电镀面的电极组,两个待电镀面的两侧均分布有电解液和阳极板;阳极板和电极组分别连接至电源的正极和负极,当电源通电时,对两个待电镀面中的至少一个进行电镀。根据本实用新型的双面电镀装置,可以同时对待电镀对象的两个待电镀面进行双面电镀,或选择其中一个待电镀面进行电镀,提高了待电镀对象的电镀效率和电镀的灵活性。而且,待电镀对象平行于水平方向放置于电镀腔内,便于待电镀对象的取片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214300423 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202022902770.9
(22)申请日 2020.12.05
(73)专利权人 绍兴同芯成集成电路有限公司
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