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一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置.pdfVIP

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  • 2023-07-24 发布于四川
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一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置.pdf

    本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其包括底板、分别相对应固定设于底板两侧的侧板，主控制基座和连接板，底板上固定设有冷板底座，其内设有冷板和散热块，冷板和散热块经盖板固定设于冷板底座内，冷板上设有多个可调节定位的硅片定位块和顶孔，冷板的底部设有温感压块和均匀分布并依次电性连接的制冷片，温感压块内设有温感探头，主控制基座上固定安装有气缸和温控控制电路板，气缸的伸缩杆上连接有支架连接块，其的一端固定设有顶杆并位于冷板底座内，顶杆的一端穿过散热块并设于顶孔内，其不仅结

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214311292 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120439504.9 (22)申请日 2021.03.01 (73)专利权人 江西维易尔半导体设备有限公司

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