原创力文档- 5
- 0
- 约8.45千字
- 约 8页
- 2023-07-26 发布于四川
- 举报
本发明提供了一种光刻版及其制造方法，其中，所述光刻版包括基板、设置于所述基板的表面的光刻版图形以及设置于所述基板上的保护层，所述保护层覆盖所述基板中设置有所述光刻版图形的区域，且所述保护层的透光率为95％～100％。本发明通过形成直接覆盖基板和光刻版图形的保护层，减少了保护层的破损风险，增强了保护层的耐用性，同时减少或避免了光刻版图形生长结晶缺陷，延长了光刻版的使用次数和时间周期，节约了生产成本。进一步地，所述保护层的厚度大于所述光刻版图形的厚度，进一步减少了保护层的破损风险，增强了保护层的耐用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116482932 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310471360.9
(22)申请日 2023.04.27
(71)申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司
地
您可能关注的文档
- 一种DCDC转换器.pdf
- 医疗分诊的推荐方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 车辆转向警示方法、装置、电子设备、存储介质及车辆.pdf
- 基于TEE的联邦学习模型优化方法、系统及相关装置.pdf
- 一种用于认知障碍快速筛查的系统和方法.pdf
- 一种用于矿山边坡绿化的草籽喷播装置.pdf
- 一种硅酸镁掺杂硅灰石陶瓷光固化浆料、制备及成型方法.pdf
- 一种焦耳热辅助的无针头熔喷纺丝方法及装置.pdf
- 一种防火电缆及其制备方法.pdf
- 对抗样本防御方法、装置、车辆和存储介质.pdf
- 2026年河南省新乡市高考数学模拟试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省郑州市第二高级中学等校高考数学考前质检试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省郑州市外国语学校高考数学一模试卷+答案解析.pdf
- 2026年河南省华大新高考联盟高考数学联考试卷（5月份）+答案解析.pdf
- 2026年河南省华大新高考联盟高考数学模拟试卷（4月份）+答案解析.pdf
- 穿行测试（参考模板）(2)(1).pptx
- 2025-2026学年福建省厦门三中高三（下）学情调研数学试卷（4月份）+答案解析.pdf
- 2025-2026学年广东省广州市越秀区执信中学高三（下）段考数学试卷（5月份）+答案解析.pdf
- 2025-2026学年吉林省长春市吉大附中实验学校高三（下）期中数学试卷+答案解析.pdf
- 2026年海南省海口市琼山中学高考数学模拟试卷（二）（5月份）+答案解析.pdf
文档评论（0）