一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置.pdfVIP

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2023-07-26 发布于四川
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一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置.pdf

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本实用新型涉及一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置，包括输送机构、罩体组件、极紫外光清洁装置、排气口和排气机构；所述罩体组件包括顶罩和底罩，所述顶罩罩设于所述输送机构的上方，所述顶罩与所述输送机构之间设有供液晶面板输送通过的通道，所述顶罩内设有所述极紫外光清洁装置，所述底罩罩设于所述输送机构的下方且与所述顶罩相配合，所述底罩的底部设有多个排气口，所述排气口与所述排气机构连通。通过在顶罩内设置极紫外光清洁装置对液晶面板进行清洗，罩体组件内产生的臭氧会通过排气口和排气机构的配合排出，同时壳体也能够防止

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219401464 U (45)授权公告日 2023.07.25 (21)申请号 202320335667.1 (22)申请日 2023.02.28 (73)专利权人福建晟哲自动化