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质量评价方法、评价用硅的制造系统、评价用硅的制造方法及评价用硅.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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质量评价方法、评价用硅的制造系统、评价用硅的制造方法及评价用硅.pdf

    本发明的质量评价方法包含：生成评价用硅的工序,在反应器20内生长多晶硅的同时,生长从芯线9沿径向延伸的单晶硅；以及使用所述单晶硅进行评价的工序。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116497439 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310025913.8 C30B 28/14 (2006.01)

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