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搬送装置及成膜装置.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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搬送装置及成膜装置.pdf

    本发明提供一种在串联式的成膜装置中使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。使用对搬送体进行搬送的搬送装置，其具备对搬送体进行搬送的多个搬送辊、对多个搬送辊进行驱动的驱动机构、设有多个搬送辊和驱动机构的旋转台、以及使旋转台转动以便切换多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和多个搬送辊沿着与第一方向交叉的第二方向排列的状态的转动机构，驱动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116497335 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211637437.7 (22)申请日 2022.12.16 (30)优先权数据

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