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本发明公开了一种压电电容式的MEMS电场传感器，包括压电薄膜、感应介质阵列、平板电容组、绝缘层和衬底；所述衬底上方覆盖绝缘层，所述平板电容组包括多个并联的平行板电容，平板电容组设置在绝缘层的顶部，平板电容组的一端接地，另一端接电压源，感应介质阵列悬置在平板电容组的顶部，感应介质阵列顶部与压电薄膜连接，感应介质阵列的底部伸入至各平行板电容中；该MEMS电场传感器通过测量输出电容检测电场变化，增大电场的测量范围，并且该MEMS电场传感器通过设置梳齿型的接地电极和终端电极，提高MEMS电场传感器的灵敏
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116500349 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310775117.6
(22)申请日 2023.06.28
(71)申请人 西安交通大学
地址 710049
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