1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

临界尺寸的测量方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.34万字
  • 约 30页
  • 2023-07-29 发布于四川
  • 举报

临界尺寸的测量方法.pdf

    本公开提供一种临界尺寸的测量方法。该临界尺寸的测量方法包括：提供一基底；形成一光阻层在该基底上，其中该光阻层包括一溶剂、一未活化的聚合物树脂、一光酸产生剂以及一感光剂产生剂；将该光阻剂暴露在一第一波长的一辐射源；将该光阻剂暴露在一第二波长的一辐射源，该第二波长不同于该第一波长；加热该光阻层；从在形成该光阻层在该基底上之后的一第一时间点连续监测从该光阻层所产生的一挥发性副产物到在加热该光阻层之后的一第二时间点，以获得该挥发性副产物的一浓度曲线；以及依据在该第一时间点与该第二时间点之间的该浓度曲线的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116504659 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211743272.1 (22)申请日 2022.12.29 (30)优先权数据 17/584,585 2022

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >