JBT 8320-1996电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管.pdf

中华人民共和国机械行业标准JB/T8320-1996电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管1主题内容与适用范围本标准规定了电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管（下称涂层管）的结构、规格尺寸、技术要求、检验方法和规则等。本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英玻璃管。2引用标准GB3284石英玻璃化学成分分析方法GB5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法GB9657半导体用透明石英玻璃管GB10701石英玻璃热稳定性检验方法3术语3.1晶纹石英玻璃管拉制过程中，在管壁上形成各种微小不闭合的炸纹。3.2生料颗粒石英玻璃管内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。3.3透明颗粒石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。3.4波纹气炼透明石英管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。3.5色斑在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。3.6气泡群石英玻璃管壁中由微小气泡（小于标准中的气泡的下限尺寸）密集而成的群集泡。3.7掀痕排除石英玻璃管上较大杂质点、气泡等弊病操作后留下的痕迹。3.8暗疤气炼产品壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面玻璃态（俗称雪花、破皮或梅花）。在高温熔烧中发橙色亮光。3.9析晶石英玻璃管在高温下发生的晶形转变，造成低温下失透。3.10弯曲度石英玻璃管实际中轴线对标称中轴线的最大偏离距离与标称中轴线长度之比。机械工业部1996—04—01批准1996-10-01实施45 JB/T8320-19963.11炸裂石英玻璃管受外界温度变化影响发生的破裂。3.12涂敷层在石英玻璃管壁（内或/和外壁）制成的耐高温薄层3.13桔皮涂敷层上出现的“桔皮”状凹凸不平的区域。3.14基体管；坏管：：制作涂层石英玻璃管时，欲在其表面制作涂敷层的原透明石英玻璃管。3.15热稳定性石英玻璃承受温度剧变的能力。用试样承受加热至规定的上限温度t，随即放入冷水（或空气）中的下—t2)℃表示。限温度t2所造成的温差（t3.16高温变形率加热前后外径的相对变化率。石英玻璃管作高温形变试验时，4涂层管的构成4.1涂层管是由基体管和制作在其管壁表面的涂敷层两部分构成。4.2涂敷层可制作在基体管的外管壁，也可制作在内管壁，或者内、外管壁都制作涂敷层。5外形尺寸5.1各种涂层管的外形尺寸范围见表1。mm表1壁厚范围壁厚公差外径公差外径范围±0.3±2.02.5~3.5050~60.±0.3±2.02.5~3.5061~7±0.4±2.03.0~3.5071~80.±0.430~4.0081~g02.5±0. 5±2.53.5~4.5091~1bo±0.6±3.03.5~5.03.5~5.5±0.60121~斤口。封口管其弧亦5.2各种涂层管的标准长度为1m、1.5m和2m三两种。管子为两端开凸度部分不包括在标准长度之内。5.3特殊形状的右英玻璃管由用户与厂家合同中规定。6技术要求6.1外形尺寸公差·6.1.1外径和壁厚的公差见表16.1.2偏壁度：同一横截面壁厚之差不得大于壁厚公差绝对值。6.1.3椭圆度同一横截面长短轴之差不得大于外径公差绝对值。6.1.4弯曲度：1m长度涂层管不大于千分之三，1.5m和2m长度涂层管不大于千分之四。6.1.5涂敷层区：长度一般不小于600mm。6.2杂质含量46 JB/T8320-19966.2.1基体管中杂质含量应符合表2要求。表2ppm杂质LiNa总含量含量0.82006.2.2涂层区石英玻璃管杂质含量指标与测试方法由企业标准给6.3 物理性能指标表3·高温变形率%··热稳定性（ta-t)c析晶性能1100-:204...·由制造厂给出注：作热稳定性的样品管段，其中未涂层部分不得少于10mmm，但不得多于30mm6.4外观要求6.4.1涂敷层应表面光滑；透明或颜色均匀，木能有剥皮、颗粒、裂纹等。但允许有少量小面积的桔皮。桔皮长径应小于10mm，总数量不超过3块。6.4.2涂层管的其它外观应符合表4要求。项·直径，mm泡数量，个/cm长径，mm气泡群总数，个/100cm9长径，mm5暗疤数量，条/100cm≤长径，mm2.0色斑数址个/100cm10深度，mm0.3直径，mm掀深度，mm·0.39150直径，.mm，管材15数量，个/m透明颗粒个/m内壁波纹mm4晶纹、云雾、杵晶、裂纹、、指纹印、生料颗粒不允许出厂检验和型式试验7.1同种原料、同种工艺在基本相同条件下生产的产品形成生产批。检验批可以是生产批，也可以小于生产批。47 JB/T8320-19967.2出厂检验7.2.1产品交货时，应按表6规定的项目进行出厂检验。7.2.2按表5规定项目检验合格的批，把抽样检验出的不合格品换为合格品后全数收交。检验不合格的批，应进行全检，剔去不合格品后收交。7.3型式试验