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MEMS麦克风及电子设备.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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MEMS麦克风及电子设备.pdf

    本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，所述MEMS芯片包括侧壁及架设在其上的电容器系统，所述电容器系统包括具有通孔的背极板及设置于所述背极板两侧的振膜，其特征在于，所述振膜与所述侧壁连接处设置有密封材料。本实用新型的MEMS麦克风旨在解决振膜与侧壁连接处由于材质不同容易撕裂导致漏气的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209949415 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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