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真空镀膜机用的罗茨泵.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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真空镀膜机用的罗茨泵.pdf

    本实用新型涉及一种真空镀膜机用的罗茨泵，包括泵体，所述泵体上转动连接有第一转轴，所述第一转轴上固定有转子，所述泵体上设置有支撑架，所述支撑架上设置有电机，所述电机的转轴与第一转轴之间设置有联动两者同向转动的磁粉离合器，所述支撑架上设置有调节对磁粉离合器的激磁电流以调节第一转轴转速的控制器，所述控制器与磁粉离合器电连接，所述泵体上内嵌有检测泵体内部温度的温度检测模块，所述温度检测模块与控制器电连接。本实用新型具有可与机械泵同时启动对真空镀膜机进行抽气，从而缩短对真空镀膜机抽气时间的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209943091 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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