蚀刻控制方法和蚀刻控制系统.pdfVIP

下载本文档

4
0
约2.83万字
约 26页
2023-08-02 发布于四川
举报
版权申诉

蚀刻控制方法和蚀刻控制系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供能够削减工艺的运行成本的蚀刻控制方法和蚀刻控制系统。蚀刻控制方法包括步骤a、步骤b和步骤c。在步骤a中，收集形状数据，形状数据包含在环组件的表面的多个位置测量出的环组件的高度的信息，环组件以包围用于载置基片的载置台上的区域的方式配置。在步骤b中，使用表示预先收集到的形状数据与控制量之间的关系的关系模型，根据步骤a中收集到的形状数据来确定控制量，其中，控制量能够控制环组件的附近的鞘分布，以使得通过等离子体蚀刻而形成于基片的凹部的倾斜的角度成为容许范围内的角度。在步骤c中，通过应用确定出的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525393 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310094493.9 (22)申请日 2023.01.31 (30)优先权数据 2022-013324 202