YST 605-2006介质浆料.pdf

YSICS 77. 120. 99H 68中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 605—2006介质浆料Dielectric paste2006-05-25发布2006-12-01 实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布数码防伤 YS/T 605—2006前本标准的附录A是资料性附录。本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。本标准由贵研铂业股份有限公司负责起草。本标准主要起草人：张晓民、杨雯、贺东江、李文琳、武新荣、石红、王晓云。本标准由全国有色金属标化技术委员会负责解释。本标准首次发布。 YS/T 605—2006介质浆料1范围本标准规定了介质浆料的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和订货单内容。本标适用于多层厚膜系统、氧化铝基板用介质浆料（以下简称浆料）。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T5596电容器用陶瓷介质材料GB/T17473.1厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法固体含量测定GB/T17473.2厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法细度测定GB/T17473.5厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法粘度测定3 定义下列定义适用于本标准。介质浆料 dielectric paste一种具有低介电常数的、用于制备厚膜多层布线隔离层的膏状物体。4要求4.1标记浆料的牌号标记方法如下：I-D-XXXX产品编号一电介质绝缘示例：I-D-4023表示编号为4023的介质浆料。4.2组成浆料由具有低介电常数的粉料、添加物和有机载体3部分组成。4.3烧成条件浆料烧成条件为峰值温度850℃士5℃，峰值保温时间8min~～10min，烧结周期30min~60min。4.4性能4.4.1浆料的固体含量、细度、粘度应符合表1的规定。4.4.2浆料烧成后的性能指标应符合表2的规定。4.5外观浆料为色泽均匀的膏状物。 YS/T 605—2006表1固体含量/%细度/μm粘度/Pa·s70~~80o150~~100若需方有其他要求时，由供需双方协商确定。协商内容包括粘度值、测试仪器型号及测试条件。表 2介电常数e损耗因素/tg?绝缘电阻/0击穿电压/VDc通孔分辨率/mm7~111×10-31012≥5000. 25指介质层膜厚为25μm的击穿电压。5 试验方法5.1浆料固体含量的测定按GB/T17473.1的规定进行。5.2浆料细度的测定按GB/T17473.2的规定进行。5.3浆料粘度的测定按GB/T17473.5的规定下附录A条件下进行。5.4介电常数、损耗因素、绝缘电阻、击穿电压、通孔分辨率的检测5.4.1样品制备在氧化铝(95%）陶瓷基片上印烧Au下电极(5mmX5mm)图形。在下电极(有引出线）上印烧介质浆料。印、烧二次，形成介质层（6mmX6 mm）,在介质层上印烧Au上电极（5mm×5mm），在850℃士10℃温度烧结形成上电极层。试样如图：上电极一介质层下电极Al2O3 基片a)侧视图b）俯视图图1介电常数、损耗因素、绝缘电阻、击穿电压的测试样品示意图5.4.2介电常数(ε)测量：通过测量电容（C)、介质层厚度（t)和样品上下电极对应的有效面积（A），并按式(1)计算：CtE(1)EoA式中:C电容量，单位为皮法（pF）；2 YS/T 605—2006t-介质层厚度，单位为厘米（cm）；A一一样品中上下电极对应的有效面积，单位为平方厘米(cm）;o——标准介电常数，E=0.0885。电容（C)用电容电桥(精度：0.5%）测量，测量的频率为1kHz;介质层厚度（t)用光切测厚仪（精度：±10%)测量，测量的基准点以下电极为准。有效面积(A)用25~~100倍读数显微镜(精度0.01 mm)测量。5.4.3损耗因素(tgo)测量：采用直读式损耗表测量,测量的频率为 1 kHz。5.4.4绝缘电阻采用高阻表测试，电阻测量范围应达10502~~101？Q，测量误差应小于士15%。测试时,测试电压为100 Vx。5.4.5击穿电压试验方法按GB/T5596的规定进行。5.4.6介质浆料的通孔分辨率测定方法在Al2Os（95%)基片上印刷预留通孔为0.25 mmX0.25 mm的介质膜层，流平5min～10 min，在150℃士10℃烘箱中烘干，按4.3烧成条件烧结成膜。在25~100倍读数显微镜（精度0.01mm）下测量通孔直径。5.5浆料外观采用目视检查。6检验规则6.1检查和验收质量证明书。6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。若复验结果与本标准(或订