光学器件及其形成方法.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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光学器件及其形成方法.pdf

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公开了具有隔离结构的光学器件及其制造方法。光学器件包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底、设置在衬底中的第一辐射感测器件和第二辐射感测器件、设置在衬底中并且位于所述第一辐射感测器件和所述第二辐射感测器件之间的第一隔离结构。第一隔离结构具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。光学器件还包括设置在衬底中并且位于第一隔离结构的第一表面上的第二隔离结构。第二隔离结构包括金属结构和围绕金属结构的介电层。第二隔离结构在衬底的第一表面上方垂直地延伸。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525631 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310204298.7 (22)申请日 2023.03.06 (30)优先权数据 63/327,018 2022