YS_T 1123-2016铂蒸发料.pdf

ICS 77, 150. 99YSH 68中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1123—2016铂蒸发料Evaporated platinum material2016-07-11发布2017-01-01 实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草，本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位，有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院本标准主要起草人：张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺听、张玉利、王超、王永辉、贾存锋， YS/T 1123—2016铂白蒸发料-燕围本标准规定了铂蒸发料的要求，试验方法、检验规则、标志、包装、运输、忙存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的铂燕发料。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的偿改单)适用干本文件。GB/T 1419—2004海绵铂GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分，按拨收质量限(AQL.)检案的逐批检验抽样计划GB/T 15077—2008责金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求3.1产品分类3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.95,IC-Pt99.99两个牌号。3.1.2产品主要分为片状、柱状，如图1所示。产品形状、定义及供货状应符合表1的要求，需方有其他要求时由供需双方协商解决。LD*)片按b) 柱状说明：A-一长度：长度；B--宽度,直径一厚度；图1铂蒸发料示意图表 1铂蒸发料分类形状定义供货状志片状厚度为0,5mm~5mm，长度为5mm~20mm,宽炭为5mm~20mm的片材柱状直径为2mm~8mm，长质为3mm~10mm的丝规材加工态- YS/T 112320163. 2牌号表示方法和标记示例3.2. 1片状标记示例IC-Pt 99.99mm × mm ×mm YS/T 1123—2016厚宽长示例：长为10mm、完为10mm.厚为2mm、纯度为99.99%的片状铂蒸发料产晶标记为：IC-Pt 99. 99 10X 10X2 mm YS/T 1123—20163, 2, 2柱状标记示例IC-Pt 99.99 mm × mm YS/T 1123—2016长度直径示例，直径为6mm、长为6mm、纯度为99.99%的柱状铂蒸发料产品标记为，IC-Pt 99. 99 6X 6 mm YS/T 1123—20163, 3化学成分产品的化学成分要求见表2。表2铂蒸发料的化学成分牌号PF(其量分数)/%，杂质含量(质量分数/%，不大于不小干AgAIAuBiCrCuFeIrMgMnIC-Pt 99, 9599, 950, 0050. 0050, 010, 0050, 0050, 0050. 0050. 020, 0050. 005TC-Pt 99. 9999. 990. 0010. 0030. 0030, 0020, 0020, 0010. 0010, 0030, 0020, 002牌号Pt(质量分数)/%，染质含量（质量分数）/%，不大于不小于NIPdPbKhKuISSnZn桑质总量IC-Pt 99. 9399. 950. 050. 010, 0050, 020, 020, 0050, 0050, 0050. 05IC-Pt 99. 9999, 990, 0010, 0030, 0020, 0030. 0030, 0030, 0020, 0020, 01注：雷方对某种特定杂质元索言量有要求的，由供需双方协商执行。桑质总和为表中所列柔质实测值之和，b铂蒸发料的铂含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量，3, 4儿何尺寸产品的几何尺寸及允许偏差见表3.2 YS/T 1123—2016表3几何尺寸及允许偏差单位为旁求片状项目柱状ABcDL10, 010, 02, 02, 08. 0尺寸15, 015, 02. 03. 06. 0允许偏差± 0, 5± 0, 5±0, 2±0. 2±0. 53, 5外观质量3, 5. 1产品表面应光亮平整、洁净，边角完整、无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。3,5,2产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。3. 5. 3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、粒等衰迹。4试验方法4. 1产品化学成分的分析方法按GB/T1419—2004中附录A和附录B的规定执行。4,2产品几何尺寸测量按GB/T15077—2008的方法1直接测量法执行。4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别、5检验规则5, 1检查和验收5. 1..1量证明书。5.1.