YS_T 1235-2018钼钛合金（MoTi）靶材.pdf

ICS 77, 150, 99H 63YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1235—2018钼钛合金（MoTi）靶材Molybdenum-titanium alloy target2018-04-30发布2018-09-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 1235—20187. 4质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a)供方名称、地址、电话、传真；b)产品名称；c)材料及纯度；d)客户名称；e)订单编号；生产批号；g)分析检测结果和质量监督部门印记；h)生产日期；D其他要求内容。订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)应包括下列内容：a)产品名称；b)纯度；c)化学成分；(P规格；e)数量；f标准编号；g)合同编号；h)其他。 YS/T1235—2018中华人民共和国有色金属行业标准钼钛合金(MoTi)靶材YS/T 1235—2018*治金工业出版社出版发行北京市东城区第祝院北巷39号邮政编码：100009北京建宏印剧有限公司印局各地新华书店经销159624-1258*开本880X12301/16印张0.75字数19千字2018年8月第一版2018年8月第一次印刷*L8S2Lt就—书号：155024·1238定价：20.00元 YS/T言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草，本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、合肥江丰电子材料有限公司，本标准主要起草人：姚力军、王学泽、袁海军、陈勇军、陆彤、黄东长、吴东青、苏关风、钱红兵、丁照崇贺昕。 YS/T钛合金（MoTi)靶材1范围本标准规定了电子尊膜用钼钛（MoTi)合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输忙存、质量证明书及订贷单(或合同)内容。本标准适用于平板显示及太阳能产业电子薄膜用钼钛合金靶材。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3850致密烧结金厚材料与硬质合金密度测造方法GB/T4325.26钼化学分析方法、第26部分：铝、镁、钙、钒、铬、锰、铁、钻、锦、铜、锌、砷、、锡、锌、够，铅和铭量的测定电感耦合等离子体质谱法GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T13298金属显微组织检验方法GB/T14265金属材料中氢、氧氮，碳和分析方法通则YS/T837践射靶材背板结合质量超声波检验方法3术语和定义下列术语和定义造用于本文件。3. 1把材target在握射沉积技术中的阴极部分。该阻极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积，3. 2艳还targetblank阴极上用作溅射材料的部分。3. 3背板backing plate用来支排或固定靶材的部分。靶坏与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方式连接。4要求4.1产品分类4.1.1产品按照形状通常可分为圈形、矩形，示意图如图1所示。 YS/T1235—2018a) 阿形b) 筛形图1钥钛合金艳材形状4. 1. 2产品按照结构形式分为单体和焊接两种，靶材背板可包括铝合金、铜合金等，示意图如图2所示。靶材背板不参与溉射，背板成分、规格等根据客户基台或图纸确定。烘接层a)）焊换型耗材b)单体记材图2 钼钛合金靶材结构4. 2化学成分4. 2. 1产品中合金元素含量波动应不超过规定成分的士10%，合金元素含量波动范围由供方工艺保证。4. 2. 2产品的皮分及杂质元索要求应符合表1规定。表 1化学成分要求号Mo90Ti10T含量(质量分数)/%9, 0~11. 09. 0~11. 0Mo+Ti含量(质量分数)/%,不小于99. 999. 95A12010 Ca20 10 Co20 10 Cr 5030Cu103杂质元索含量（质量分致)/×10-4，不大于Fe150100Mg2010 Mn5020Ni 5020 5020N YS/T1(续)牌号Mo90Ti10v210LiNaK30 20U 0. 1 900 °0杂质元索含量（质量分数)/X10-*，不大于LL0. 1 900 °0100100H8050：需方对元素有特殊要求的由供资双方协商，并在订货单(或合间）中注明。Mo+Ti含量为100%减去表中杂质实测总和的余量(不含C.0,N.日、S)。4. 3微观均匀性产品中钼颗粒和钛颗轻的颗粒大小应符合表2规定，且分布均多，无单一颗粒堆积，表2微观均匀性