光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究.docxVIP

学免免 www. 学免免 www. xuet 学术交流 理论/研发/设计/制造 光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究 史君 (东南大学太阳能研究中心，南京210009) 摘 要 ：在光伏电池片的生产过程中，扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化，常常会出现故障，使扩 散后，硅片方块电阻异常波动，致生产线的扩散环节出现很多异常问题，导致PN 结质量下降。文中对扩散炉体零器件 老化、损坏而导致的方阻异常进行分析，并寻找相应的解决措施，不断提高PN 结制造工艺的稳定性。 关键词：扩散炉；方阻；温度；流量计；排风 中图分类号： TM 914 文献标志码：A 文章编号：1002-2333(2015)08-0128- 02 0 引 言 本文的讨论对象DF4 炉，为传统北京七星扩散炉，共 4根炉管。分别为DF4-1、DF4-2、DF4-3、DF4-4。生产过 程中发现DF4-1 炉管较DF4 炉其它炉管需要设定高出 很多的温度和流量才能达到相同的方块电阻，否则就可 能出现方块电阻阻值偏大，扩散不完全，最终导致电池片 扩散环节工艺质量下降。现将排除故障的实验研究总结 分析，供同行参考。 1 DF4-1、DF4-2 扩散程序参数对比 1.1 DF4-1、DF4-2扩散参数设置 按照DF4-1、DF4-2 操作说明、结合生产实际及工艺 部制作的操作规程，设置常规生产实践中DF4-1、DF4-2 的扩散程序参数见表1。 表1显示，DF4-1 与 DF4-2 对比，同样方阻控制 在552 ,DF4-2 温度只需840℃左右，小氮流量需要 1220 mL/min,而 DF4-1 温度则需要870℃左右，小氮流 量则需要1650 mL/min。如此差异巨大的参数才能达到扩 散方阻的阻值基本相同，扩散过程中显然出现了异常。 1.2 生产中经常出现的问题 表 1 DF4-1、DF4-2 扩散程序参数对比 扩散仪步 骤 时间/s 温度/℃ Pocl3 N? O?速度 Loading 900 800800800 16 240 O? 600 800800 800 24800 DF4-1 Pocl3 1100 800800800165024600 Ramp up 600 885868838165024600 Drive in 300 900883 853 24 Ramp down 1200 800800 800 24 Unloading 1020 800 800 800 16 140 Loading 900 800800 800 18 240 O? 600 800800 800 25 800 Pocl3 1100 800800 800 1220 25 600 DF4-2 Ramp up 600 839833824 1220 25600 Drive in 300 854848839 25 Ramp down 1200800800800 25 Unloading1020 800800 800 18 140 温区温度设定为850℃,用profile热偶检测其实际温度。 检测结果见表2。 从表2的检测结果来看实际温度与设定温度的差异 在允许范围之内，温度差异无异常。 如果按照常规生产中的扩散 程序，将DF4-1 与 DF4-2 炉管设 置相同的参数，DF4-2 炉管的产 品符合技术质量要求，而DF4-1 的产品存在以下问题：1)DF4-1 需异常高温和磷源量才可达到与 表2 扩散炉各温区温度设置及检测结果 温区 温区一 温区二 温区三 设定/℃允许误差实测/℃ 设定/℃允许误差实测/℃ 设定/℃允许误差实测/℃ SV 850 2 850 850 2 850 850 2 850 Profile PV 843 2 843 852 2 852 849 2 849 其他炉管相同扩散方阻；2)经DF4-1 炉扩散后的电池片 2.2 排风排查 颜色略深，扩散表面浓度过高；3)经 DF4-1 扩散后的电 分析是否因为排风异常而导致方块电阻异常。用风 池片方阻均匀性不好，经烧结后效率低于线上正常水 速仪测试DF4 炉各炉管的排风，测试结果见表3。 平 。 通过测