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第七章材料中的扩散 第一页，共三十三页，2022年，8月28日 §7.1 扩散方程(diffusion equation) 1 扩散第一方程 （菲克第一定律、Fick’s first law） J：扩散通量（diffusion flux）， g.cm-2.s-1 C：溶质原子的浓度（concentration）， 即单位体积物质中扩散物质的质量， g.cm-3 x：沿扩散方向的距离 D：扩散系数（diffusion coefficient）， cm2.s-1 “― ”：扩散物质流的方向与浓度下降的方向一致 在稳态扩散条件（steady-state diffusion）下， 即dC/dt=0，单位时间内通过垂直于扩散方向 的某一单位界面积的扩散物质通量J，与此处 的浓度梯度（concentration gradient）成正比 Chapter 5 Diffusion in Materials 第二页，共三十三页，2022年，8月28日 应用举例： 则： J、P、S均可测的， 用这种方法可以求扩散常数D 容器中有Δx厚度的薄膜， 两侧气体压力P1、P0，P1P0 已知：c=sp（s为常数） Chapter 5 Diffusion in Materials 第三页，共三十三页，2022年，8月28日 2 扩散第二方程（菲克第二定律、Fick’s second law） （单位时间在微小体积中积存的物质量） =（流入的物质量）-（流出的物质量） 即： 菲克第二定律、Fick’s second law 针对有普遍意义的非稳态扩散（nonsteady-state diffusion） dC/dt≠0，扩散过程中扩散物质的浓度随时间变化 对有浓度梯度存在的固溶体中的微小单元 Chapter 5 Diffusion in Materials 第四页，共三十三页，2022年，8月28日 如果扩散系数与扩散物质浓度无关 则： 对三维扩散 如果三个方向的扩散系数相等：Dx = Dy = Dz 则： 如果浓度梯度是球对称的，且扩散系数D为恒量， 则： 实际中，扩散系数D随浓度而变化，但一般处理为常量 Fick’s second law Chapter 5 Diffusion in Materials 第五页，共三十三页，2022年，8月28日 3 扩散第二方程的应用 目的：求解得到 c = f（x，t） 形式： 适用的扩散问题： ● 扩散过程中扩散元素的质量保持不变，其值为M； 扩散第二方程的常用解 1）高斯解（Guass solution, 薄膜解） ● 扩散开始时扩散元素集中在表面，类似一薄层； ● 初始条件：t=0，C=0； ● 边界条件：x=∞，C=0 Chapter 5 Diffusion in Materials 第六页，共三十三页，2022年，8月28日 举例： 制作半导体元件时，先在Si表面沉积一薄层B，然后加热使之扩散 解：x=0 若1100℃时，B在Si中的扩散系数D为4x10-7 m2/s， 薄膜层质量为M=9.43x1019原子 求 扩散7x107s后，表面的浓度 Chapter 5 Diffusion in Materials 第七页，共三十三页，2022年，8月28日 2）误差函数解(error function solution) （1）无限长棒（两端成分不受扩散影响的扩散偶, infinite solid） 形式： C2 C1 初始条件：t=0时， x0 C=C1 x0 C=C2 erf（β）称为误差函数(error function)，可以查表求出 边界条件： x=+∞，C=C1； x=-∞，C=C2； x=0，C0=（C1+C2）/2 适用于无限长棒的扩散问题， 如焊接问题。 Chapter 5 Diffusion in Materials 第八页，共三十三页，2022年，8月28日 （2）半无限长棒（一端成分不受扩散影响的扩散体, semi-infinite solid） 形式： C2C1 初始条件：t=0时， x≧0 C=C1 t0 C1 C2 erf（β）称为误差函数(error function)，可以查表求出 边界条件：t 0时， x=0，C=C2； x=∞，