1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

厚度量测标记的建立方法及系统.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.39万字
  • 约 18页
  • 2023-08-05 发布于四川
  • 举报

厚度量测标记的建立方法及系统.pdf

    本发明提供一种厚度量测标记的建立方法及系统。所述厚度量测标记的建立方法包括如下步骤：响应于厚度量测机台发出的量测错误指令，执行获取并存储当前晶圆图像操作；根据初始厚度量测标记对应的坐标以及所述当前晶圆图像，在预建立的厚度量测标记图像库中匹配出对应的当前厚度量测标记；响应于用户操作指令将所述当前厚度量测标记更新至所述厚度量测机台。上述技术方案，通过预建立厚度量测标记图像库，在接收到厚度量测机台发出的两侧错误指令时，通过将在厚度量测标记图像库中匹配到的当前厚度量测标记更新至厚度量测机台，在机台远程在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116544132 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310829633.2 (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人 广东芯乐光光电科技有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >