1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

供液装置及供液方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约2.44万字
  • 约 21页
  • 2023-08-05 发布于四川
  • 举报

供液装置及供液方法.pdf

    本公开一些实施例提供的供液装置包括：第一供液结构，包括用于供应第一处理液的第一供应端口；第二供液结构，包括用于供应第二处理液的第二供应端口；第一供液回路，与所述第一供液结构和所述第二供液结构连接；第二供液回路，至少与所述第二供液结构连接；控制结构，至少包括第一控制组件和第二控制组件，所述第一控制组件用于控制所述第一供液结构的所述第一供应端口与所述第一供液回路之间的连通与否，所述第二控制组件用于控制所述第二供液结构的所述第二供应端口与所述第二供液回路之间的连通与否、以及所述第二供应端口与所述第一供

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116534787 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202210092156.1 (22)申请日 2022.01.26 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 23

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >