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一种硒化锌制备设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种硒化锌制备设备.pdf

    本实用新型公开了一种硒化锌制备设备，包括气相沉积炉，气相沉积炉包括炉体、上炉盖和下炉盖，上炉盖、炉体和下炉盖围设形成炉腔，炉腔内设有坩埚、沉积室、保温层，气相沉积炉连接加热系统、传动系统、抽气系统、进气系统和冷却水循环系统，加热系统用于加热气相沉积炉内温度至气相沉积温度；传动系统用于支撑整套设备和驱动所述下炉盖升降；抽气系统用于对气相沉积炉炉腔内抽真空和保持真空度；进气系统用于原料气体的混合以及气相沉积炉的进料；冷却水循环系统用于冷却气相沉积炉的外表面。本实用新型提供一种硒化锌制备设备，结构合理

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219470277 U (45)授权公告日 2023.08.04 (21)申请号 202320774025.1 (22)申请日 2023.04.10 (73)专利权人 上海韵申新能源科技有限公司 地址

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