1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

热板腔盖、热板单元及匀胶机.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约7.71千字
  • 约 8页
  • 2023-08-05 发布于四川
  • 举报

热板腔盖、热板单元及匀胶机.pdf

    本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种热板腔盖、热板单元及匀胶机。所述热板腔盖包括：本体，其上上设有一进出气孔；密封筒，密封固定于所述本体上，覆盖于所述出气孔上方，且所述密封筒的内径大于所述出气孔的孔径；进气管，与所述密封筒连接，提供向热板腔内充气的气道；排气管，与所述密封筒连接，提供向所述热板腔外抽气的气道。本实用新型通过使改造后的匀胶机可以适应挥发性较强的光刻胶的排气要求，同时也能向下兼容原先使用的光刻胶，提高了光刻机的利用率，也节约了采购新设备的费用。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209992805 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >