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一种短H型结构的高频抛光石英晶片.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种短H型结构的高频抛光石英晶片.pdf

    本实用新型公开了一种短H型结构的高频抛光石英晶片，包括形状为矩形体的腹板晶片和翼缘板晶片；所述翼缘板晶片数量为2、腹板晶片数量为1，翼缘板晶片对称设置在腹板晶片的两个相对短侧边上，构成H型钢形状的石英晶片；所述腹板晶片的长宽高分别为：X1、Y1、Z1；翼缘板晶片的长宽高分别为X2、Y2、Z2；其中：X2＝Y1；1.12Z1≤Y2≤1.47Z1；0.007X1≤Z2≤0.029X1。本方案通过光刻腐蚀的方式加工出一体式新型结构压电石英晶体频率片，通过上述的外形及其尺寸，经过仿真结果可知，添加宽度方

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209994353 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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