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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统包括真空箱和工件，所述工件位于所述真空箱内，所述工件的进出气口连通高压罐的出气口，所述高压罐的第一进气口连通氦源的出气口，所述氦源的出气口连通低压罐的第二进气口，所述低压罐的第一进气口连通回收泵的出气口，所述回收泵的进气口连通所述工件的进出气口，所述低压罐的第一出气口连通主压机的进气口，所述主压机的出气口连通所述高压罐的第二进气口，所述主压机是无油主压机，所述回收泵是无油回收泵。根除了在回收的氦气中产生油气的因素，通过反复实验证实，用本实用新型回
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209992127 U
(45)授权公告日
2020.01.24
(21)申请号 20192
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