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蒸发源结构及蒸镀设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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蒸发源结构及蒸镀设备.pdf

    本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种蒸发源结构及蒸镀设备。该蒸发源结构包括蒸发源、安装组件、连接管以及换样盒，蒸发源用于承载和加热靶材；安装组件包括安装管和驱动机构，蒸发源活动设置在安装管中；安装管通过连接管与工作腔室连接，安装组件还包括驱动机构，驱动机构能够驱动蒸发源移动，以使蒸发源顶部的靶材通过安装管和连接管进入工作腔室；换样盒设置在安装管和连接管之间，换样盒用于更换靶材。该蒸发源结构在安装管和连接管之间设置有换样盒，操作人员可以在换样盒中对靶材进行更换，之后使用驱动机构驱动更换靶材后的蒸

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219470173 U (45)授权公告日 2023.08.04 (21)申请号 202320708507.7 (22)申请日 2023.04.03 (73)专利权人 杭州星河材料科技有限公司 地址

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