原创力文档- 5
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- 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型创造提供了一种真空磁控溅射镀膜设备，包括镀膜箱、以及镀膜箱上转动安装的门体、以及镀膜箱内设置的旋转机构；所述旋转机构包括镀膜箱内转动安装的转盘、以及转盘上设置的用于承载工件的承载架；所述门体边缘设有外裙板，镀膜箱上对应外裙板设有内裙板，所述内裙板上设有用于固定门体的夹紧机构。本实用新型创造结构简单，易于操作，且密封性能很好，通过设置多种固定结构，使门体可以始终稳定的与镀膜箱贴合，大大提高了这种设备运行的稳定性和可靠性；通过在镀膜箱上设置夹紧机构，大大提高了这种设备的密封性能，当需要密封
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210012893 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20192
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