原创力文档- 1
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- 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型提供了一种化学机械研磨设备，该设备包括研磨台、研磨台支撑部件、挡板以及挡板清洗装置；研磨台设置于研磨台支撑部件上，用于研磨晶圆；挡板围绕研磨台设置并与研磨台相距一预设距离，用于隔挡从研磨台甩出的研磨液；挡板清洗装置设置于所述研磨台支撑部件上，并且挡板清洗装置中的清洁部件位于研磨台和挡板之间，用于清洗挡板，同时，清洁部件还低于研磨台的上表面。本实用新型提供的化学机械研磨设备可以及时清洗挡板。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210010824 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20192
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