微型光纤压力传感器.docVIP

微型光纤压力传感器 第10卷第3期光电子技术与信息1997年6月 构成 3试验情况 这套实验系统主要由适合野外工作的三 部分组成:由l2V蓄电池供电的激光雷达, 光纤中继系统及后向反射镜阵.激光源为 EGamp;G公司的C86133E型激光器,安装于 PowerTechnology公司的IL75C50PU小型 装置上,它带有热沉及驱动器.由于准直后 的激光束具有垂直偏振,因此通过偏振分束 器的激光束损耗很小.接收适合InGaA8类 激光的探测器选用EGamp;G公司的C30618E 及C30619E型和7l0系列三级放大器.光纤 耦合器则按系统设计要求自行设计,激光束 要由10C132压缩至2mm经GRJN透镜进入 光缆.为了有效耦合,准直光束需在0.5.范 围内八射至GRIN透镜这种方法能获得最 大的插八效率,并且对位移及失调不敏感 .2一乡 弋| 微型光纤压 配接一个敏感元件的标准光纤微型压力 传感器,由于具有灵巧支承和自动传感系 统而为多种医疗应用提供了可能性.它采用 一 个5m厚的薄膜,可以监测压力达4 MPa.600lh/in0的空气或液体支承装置 监测信号可用于控制或观测系统与静止 态的变形偏差.选择薄膜厚度可分别用于不 同的压力状态.饲如,一个3m厚度的薄膜 可用于最大压力为0.7MPa,100lb/in的 自动油压或其它各种传感器对灵敏度在l0 Pa的生物医学应用,较薄的薄膜是适宜的 这种传感器的成功之处在于制作比较容 易和设计简单.用常规硅平面法和消耗层来 获得活性薄膜,并可用直接或正极接合和”接 合一抛光”或接合一蚀刻”技术转变活性薄 所有光学机械系统均能耐受振动,风吹及降 雨,耦合器均经光学窗口装于密封盒中并安 装在水泥基座的钢支柱上,连接部分可调整 瞄准方向 试验的主要目的在于观察不论什么样的 恶劣天气及背景条件下接收到强信号的情 况.所谓强信号就是信号水平至少较光电二 极管噪声水平高出一个量级.同时观察获得 多余观测的情况在良好条件下试验的结果 是SRN达到100,从而探测概率达到0.999, 误警概率为l0_10,满足了要求在实验室条 件下模拟各种能见度情况,即在激光束路径 上设置中性滤光器.实验表明,在晴朗天气 条件下输出35W的激光脉冲可获得SNR 为300.在光学滤光器的光密度为2时(相 当于雪天及中等雾况),SNR可达到l0,足以 取得可靠的探测. 光学检测. 把硅薄膜直接接合在微细加工的硅衬底 上可以大大筒化加工.制造一个可安装在标 准光纤上的传感元件只需四个步骤:激光微 加工衬底晶片,熔化接合商品超薄膜到衬底 上,沉积一层红外反射涂层,切割成独立元 件.这些技术可推广到其他装置中,如可控 显微镜和微型液体流动调节器. 图l示出光纤压力传感器的截面图.其 头部一2?m宽可以容纳带包层的标准光 纤(直径为125m),厚度400m为薄膜 和衬底硅片的合计厚度.薄膜和光纤端头问 隙为105m宽,40m深.问隙的宽度小 于光纤直径,这样间隙可用于光纤的定位并 第10卷第3期光电子技术与信息1997年6月 设置光路的基线探度. 包层\A1反射而 雌虱遁红扑硅曦/ 圉1_光纤压力传感器头的截面图 图2示出光学触发响应信号的原理图. 由压力变化引起光纤端头和反射薄膜之间的 距离变化,使返回光纤的光通量被调制并为 光电二极管检测.图中没示出分柬器的光学 终端. 间隙的设计取决于光路的最大灵敏度, 即光纤端头被安装在距反射表面约一个光纤 半径的距离处.当间隙为40ttm探时可以采 用50或75ttm直径的标准多模光纤,更大 的灵敏度寄希望于大直径光纤. 薄膜和衬底硅晶片是无掺杂的并对红外 辐射透明. 霉一 圉2光学触发响应信号原理图 薄膜晶片直接接合在衬底晶片上,随后 喷镀一层200[IITI的铝反射涂层在薄膜外表 面上. 高压应变所需的薄膜厚度可以通过压 力与边缘紧固的圆形薄膜的中心挠度的函 数关系推导出来.对于硅薄膜,其关系为 P/d=431GPa(t./a),其中P是与问隙压 力对应的大气压力,d,.,t分别为薄膜的 中心挠度,半径和厚度.从这里可以看出, 薄膜越薄灵敏度越高,这个关系只在薄膜刚 度为线性近似时有效,即压力产生的中心挠 度为薄膜厚度的0.1倍.对于高压应用,空 气间隙的刚度可忽略不计.喷镀的铝层也可 以忽略,因为它只占薄膜厚度的一小部分. 在最大线性挠度和4MPa运行压力,薄膜半 径为52.5m,薄膜设计厚度为5m时,在 测试厚度范围之内. 在四个加工步骤之中,对激光打孔和晶 片