SJ_T 10479-2016自动砂轮划片机.pdf

ICS 31-550L95SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T10479—2016代替SJ/T10479—1994自动砂轮划片机Automatic wheel scribing machine2016-01-15发布2016-06-01实施SJ发布中华人民共和国工业和信息化部2011 SJ/T10479—2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准代替SJ/T10479—1994《自动砂轮划片机通用技术条件》，与SJ/T10479—1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：标准名称由“自动砂轮划片机通用技术条件”改为“自动砂轮划片机”；修改了使用条件（见3.11994版的3.一增加了工作行程技术要求DNFOR-将“Y步进误差不大于b005，累积误差在100mm测量范围内不大于0.008mm”改为“在进误差应≤0.003mm，Y轴累积误验应100mm（见3.4.2,1994版的工作行程内，S13.2.6);将“承片合或主轴升降定修改为Z轴并降定位误差应≤0.005mm”于0.008mm3.4(见 3.1994假的3.21-了轴定位误修改3，1994版的1.4)“承尚旋转定差不大于9（0.0025°）”改为轴转角误符合产品使用说明书的要求（见3)441994182E增加了台相对及其试验方T由进给平行度（见3.6.);改要求及年台相对X轴Y轴导轨检查方法（见）4.5.2，1994版的OL5和1.3);增加翼槽宽度技口3.7C修改功能技术要求见3.8.1994版的3.4）修改了2技术要求（见3.9,1994版的3.10）；将“空载试改为“试运行”（见3.10，1994版的3.5）；M将“负载试验改为“试划片”，并修改了试划片试验（见3.11,4.101994版的3.6和4.5)；2一增加了划片机无漏！4/11.2);工作时间技术要求及试验方法（见14.12,1994版的4.修改了运输试A12删除了空气静压电主轴安装金方法（见1994版的3.2.7和4.1.7)；轮刀处的及其试删除了显示屏技术要求及其试验方1994版的8.3和4.2)；删除了安全要求及其试验方法（见1994版的3.7和4.6）；删除了结构要求及其试验方法（见1994版的3.8和4.7)；修改了出厂检验和型式检验，删除了例行检验（见5，1994版的5）请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）提出并归口。本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、晶能光电（江西）有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。本标准主要起草人：张仕卿、曾艳丽、刘光恒、白宇、马岩、徐秋玲、于振毅、杨路、白雪峰、郝鑫、殷波、荣宇、冯亚彬。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：SJ/T10479—1994。I SJ/T10479—2016自动砂轮划片机1范围本标准规定了自动砂轮划片机（划片过程自动化，以下简称“划片机”）的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本标准适用于切割分离硅片的划片机，产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、锯酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料。ANDINORMAIONISTRY2规范性引用文件本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件下列文件对于F日期的版本适用于本文件。件的用文适用于本凡是不注日期的化其最新版不（括所有的修改单）2包装储运图GB/T 191鑫标志1986效率与均毛故章时间的验证试验可靠性试验恒是失效率假设下艳方案CHNOLOGY5915.GB/T 2010净境第1部分：净度等级SJ 32137般设电子产品天汽车运输嵌验输包3要求S使用条3.1A划片机在下列准件下应能正常工作：L（23±4)温度：a)一b)相对湿度：≤80%洁净度：划片机角于集成电路制造时，使用环境应符合GB/c)25915.1—2010规定的IS04级或以上要求；用子其他用途用要文满d)380V+10%，频率50Hz±2%，功率3kW以上；供电条件：交流电压220V+10%e)供气条件：压缩空气压力应≥0.5MPa，流量应≥0.3m/min；f)供水条件：去离子水压力应≥0.2MPa，流量应≥3.0L/min，温度（10～30）℃。3.2外观划片机外观应平整、光滑，无划伤痕迹，无锈蚀现象，镀/涂层应不脱落。3.3工作行程6英寸划片机工作行程应≥155mm，8英寸划片机工作行程应≥210mm。3.4工作精度3.4.1X轴垂直度误差1 SJ/T10479—2016X轴导轨与Y轴导轨的垂直度误差应≤0.025mm。3.4.2Y轴步进误差和累积误差Y轴步进误差在工作行程内，Y轴步进误差应≤0.003mm。Y轴累积